CMOS集成温度传感器的曲率校正电路的设计与研制

摘要：

本文设计了一种用于CMOS集成温度传感器二次非线性项修正的曲率校正电路,该电路有效解决了CMOS温度传感电路中电阻温度系数和PN结电压二次非线性项对输出线性度的影响.分析了该曲率校正电路的理论原理,提出了相应的电路实现方法,仿真结果表明校正前后温度误差下降了0.5℃.应用了该校正电路的CMOS温度传感系统已在0.6μm标准CMOS工艺中研制实现,实验结果表明在-20℃～+120℃的温度范围内该温度传感系统的最大误差小于1.5℃.

关键词： CMOS 温度传感器 校正电路 二次非线性

作者: 林凡 黄晅 郭东辉 吴孙桃

作者单位: 厦门大学,物理系;厦门大学,萨本栋微机电研究中心,厦门,361005 厦门大学,萨本栋微机电研究中心,厦门,361005 厦门大学,物理系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 537-540

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）