MEMS热微执行器的研究

摘要：

本文对于V型梁结构微执行器,理论研究表明V型梁的长度、宽度、厚度和初始偏置角度等几何参数对微执行器的性能存在直接影响.在结构参数优化的基础上,本文采用DRIE技术在SOI硅片上制作出V型梁微执行器.试验结果表明,优化后的V型梁并联5梁阵列,在直流电压的驱动下能提供90mN执行力,同时还能输出5.6μm的直线位移,具有体积小,执行力大,结构简单,容易控制等特点.

关键词： 微执行器 DRIE SOI 性能测试

作者: 杨静 蒋庄德

作者单位: 中国航天时代电子公司研究院,北京,100084 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,西安,710049;西安交通大学精密工程研究所,西安,710049

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 489-492

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）