Al、Au溅射薄膜的剥离技术研究

摘要：

本文采用氯苯浸泡法对(0.2～2.0)μm的Al、Au溅射薄膜进行剥离,分析了光刻胶厚度和薄膜厚度与剥离图形的关系,对剥离过程中氯苯浸泡工艺以及溅射工艺对剥离图形的影响进行了研究,并在2.0μm厚的Al和Au溅射薄膜上剥离出8.0μm的缝隙。

关键词： 溅射薄膜 剥离技术 氯苯浸泡法 光刻胶厚度

作者: 于映 赵晨 罗仲梓 翁心桥

作者单位: 福州大学电子科学与应用物理系,福州,350002 浙江万里学院计算机与信息学院,宁波,315011 厦门大学萨本栋微机电研究中心,厦门,360005

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会第六届全国会员代表大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 112-114

在线出版日期: 2004-11-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）