8×8MEMS光开关阵列的制作

摘要：

本文采用MEMS技术制作了静电驱动的扭臂结构8×8光开关阵列,主要包括上下电极的制作.利用硅在KOH溶液中各向异性腐蚀特性及(110)硅的结晶学特点,在(110)硅片上我们制作了微反射镜阵列上电极,考虑到微反射镜在腐蚀过程中有很大的侧蚀,为保证得到足够大的反射镜,我们对开关结构进行了调整.在偏一定角度的(111)硅片上制作了倾斜的下电极.整个开关制作工艺简单,成本低.开关寿命大于1000万次,开关时间小于10ms.

关键词： 光开关 开关阵列 微反射镜

作者: 贾翠萍 董玮 周敬然 王丹 刘彩霞 臧会东 徐宝琨 陈维友

作者单位: 吉林大学电子科学与工程学院集成光电子国家重点实验室,130012

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 424-427

在线出版日期: 2005-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）