纳米电子器件及其集成

摘要：

本文对基于Top-Down加工技术的纳米电子器件如:单电子器件、共振器件、分子电子器件等的研究现状、面临的主要挑战等进行了讨论.

关键词： 集成电路 纳米器件 芯片设计

作者: 刘明 陈宝钦 谢常青 王丛舜 龙世兵 徐秋霞 李志钢 易里成荣 涂德钰

作者单位: 中国科学院微电子研究所,纳米加工与新器件集成实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 357-360

在线出版日期: 2005-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）