叉指式硅微机械陀螺的闭环驱动电路研究

摘要：

本文从叉指式硅微机械陀螺的器件结构角度分析了陀螺驱动信号和检测信号的关系,得出了陀螺的理想驱动信号必须满足的条件,由此提出了叉指式微机械陀螺的闭环驱动方式并设计了总体电路结构,总结了陀螺闭环驱动电路的优点以及设计难点.

关键词： 陀螺仪表 驱动电路 电路结构

作者: 莫冰 刘晓为 谭晓昀 张宇峰 肖诗满 史增博

作者单位: 哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 317-320

在线出版日期: 2005-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）