外延片量产中雾片的判定
由于受到整机市场价格下降的压力,现在用于功率器件的外延片价格越来越便宜,但用户对硅片的质量要求却越来越高.因此,对于外延厂商来说,在稳定和提高质量的同时,必须要提高产率,才能降低成本.外延片的质量检测有两种,一种是破坏性的.另一种是非破坏性的,如表面强光检查,参数测试、或者金属含量分析深入检查.通过强光检测,表面有缺陷的硅片被判为不合格品(雾、黑点、钉、颗粒)等.但是雾的程度很难判断,因此经常发生过严的检验,本文主要讨论外延片表面雾是否合格的判定问题.
外延片 雾片 强光检测
薛宏伟 康卫 田中元 侯志义
河北普兴电子材料有限公司,050051
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363-364
2005-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）