低阻P型衬底上高阻厚层N型外延

摘要：

本文介绍了高阻厚层反型外延片的一种实用生产技术,即在常压外延设备上,采取特殊的工艺控制在电阻率＜0.02Ωcm的P型低阻衬底上实现了高阻厚层N型外延生长.

关键词： 外延生长 高阻厚层 自掺杂 低阻P型衬底

作者: 谭卫东 马利行 骆红 唐有青 张文清

作者单位: 南京国盛电子有限公司,南京,210038

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 327-328

在线出版日期: 2005-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）