电化学反应中圆盘电极阵列的制备

摘要：

本文提出了一种快速制备电化学反应中工作电极阵列的方法.此法利用集成电路制造工艺,将TiW-Au溅射在玻璃基片上,并通过曝光显影等加工工艺,利用感光胶SU-8作为绝缘层,制造出了直径为1mm和0.5mm的圆盘电极阵列,并通过检测金属氰化物和酚类化合物,表明该电极性能优良.

关键词： 电化学反应 圆盘电极 工作电极阵列

作者: 程佳 朱纪军 Simon S.Ang

作者单位: 东南大学生物电子学国家重点实验室,东南大学 Electrical Engineering Department,University of Arkansas,Arkansas

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 100-103

在线出版日期: 2005-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）