N/P+型扩散技术研究

摘要：

微机电系统MEMS(MicroElectroMechanicalSystem)是将微电子技术与传统的传感器技术相结合产生的,它是具有微传感器、微处理器、微执行器等智能的微型机械系统,将有广泛的使用前途.本文介绍N/P+型扩散片的制造工艺,N区域用于制造半导体芯片.利用P+区的自停止腐蚀特性,形成P+微型薄膜,薄膜机械形变产生的电信号,传输给微型传感器,构成一个完整的微机电系统.

关键词： 微机电系统 N/P+型扩散片 扩散层 自停止腐蚀

作者: 佟丽英 王聪

作者单位: 中国电子科技集团公司第四十六研究所,300220

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 88-91

在线出版日期: 2005-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）