关于多晶硅中的碳

摘要：

对于半导体硅来讲,碳是有害的杂质,严重影响半导体的电学性能.所以如何减少多晶硅中碳的含量是多晶硅生产工艺一个主要课题.本文就硅中的碳的来源以及强化措施谈了一下看法.

关键词： 多晶硅 碳含量 半导体硅 电学性能

作者: 张惠国

作者单位: 新光硅业科技有限责任公司,四川,乐山市,614000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 280-282

在线出版日期: 2005-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）