基于Matlab/Simulink对RF MEMS开关激励信号的研究
本文采用Matlab/Simulink模拟工具对RFMEMS开关的动态特性进行了研究.将开关的行为用电学域和力学域的状态方程加以描述,并用系统框图模拟此状态方程,利用Simulink的仿真工具得到了开关的动态响应曲线.通过给开关施加不同的激励波形,发现矩形信号的响应时间相对于三角波和正弦波有明显改善,方波信号的开启速度比三角信号快了30倍.模拟结果表明,根据极板位移的时间响应特性,可以确定出周期性激励信号的占空比,从而优化信号激励方式.
RF MEMS开关 Matlab Simulink 动态特性 激励信号
赵旭 刘泽文
清华大学微电子所
国内会议
西安
中文
569-572
2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）