CMOS热风速和风向传感器的设计和测试
本文给出了一种CMOS工艺实现的能够同时测量风速和风向的传感器及其工作原理和测试结果.位于传感器中心位置的测温二极管反应了加热之后的芯片的温度,通过热反馈控制电路使该温度符合恒温差的工作模式.风速测量采用热损失原理,加热元件的电压变化可以反应风速的变化.周围呈环形分布的8个测温二极管的输出信号反应了在一定风速和风向条件下的热梯度的分布情况.对此8个输出信号进行数据的处理可以得到更为精确的风向测试结果.经过在风洞中的测试,风速的测量可以达到30m/s,风速的分辨率可以达到0.5m/s,风向的分辨率可以达到10°,传感器的功耗不超过100mW.
风速 风向 测温晶体管 传感器
孙建波 秦明
东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096
国内会议
西安
中文
562-565
2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）