四探针Mapping自动测试仪中电阻率温度系数的规范化拟合多项式的应用

摘要：

本文回顾了单晶硅及扩散硅的电阻率温度系数(TCR)的实验结果,认为美国ASTM的TCR曲线是比较完整,确切的.利用规范化多项式拟合方法,可将它表示成五阶多项式.将它存入具图像识别四探针定位功能自动测试系统的计算机中后,可以立即得到折合到23℃的硅单晶断面的电阻率分布.本文阐述了规范化拟合的原理,给出了单晶硅的TCR的拟合结果.

关键词： 半导体 TCR 电阻率分布 规范化多项式拟合 非线性函数 单晶硅

作者: 孙以材 孟庆浩 官云梅 武建平

作者单位: 河北工业大学微电子所,天津,300130 天津大学自动化学院,天津,300072

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 558-561

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）