集成电路结构的规范化描述

摘要：

本文介绍一种规范化的集成电路等微结构的描述工具,即微结构描述语言.对于所定义的微结构描述语言的各项先进特性,文章是结合一个CMOS结构实例来进行介绍的.在加工对象的结构描述基础上,可以提取结构特征和及进行结构分析;而对结构特征进行分析,将为接下来自动生成规范化的工艺流程,搜集和准备必要的结构信息.

关键词： 集成电路 电路结构 结构描述

作者: 严利人

作者单位: 清华大学微电子学研究所,北京,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 535-538

在线出版日期: 2005-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）