微机械非制冷红外热电堆探测器的研制
本文阐述了热电堆探测器的原理,利用ANSYS软件模拟了热电堆探测器的性能,阐述了采用微机械微机电方法制造热电堆探测的工艺过程,采用背面各向异性腐蚀方法架空封闭薄膜,其中所用膜系结构为热二氧化硅(1500埃)+LPCVD氮化硅(800埃)+PECVD氮化硅(3000埃)的复合薄膜结构,所用热偶材料为N型多晶硅和P型多晶硅材料,成功研制出包含18对热偶的热电堆探测器,并对器件性能进行了测量,测得器件的响应率为40V/W,响应时间为91ms,归一化探测率为1.04×108cm·Hz1/2·W-1.
红外探测器 热偶材料 半导体薄膜
蔡小五 韩郑生 马斌 梁平治
中国科学院微电子研究所,北京,100029 中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083
国内会议
北京
中文
513-517
2005-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）