热激励碳化硅微桥谐振器幅频特性研究
本文建立了真空中热激励碳化硅谐振器谐振器简化模型,并用解析的方法,考虑内应力的影响,推导了出了器件的幅频公式,得出了利用有限元软件ANSYS9.0对碳化硅微桥谐振器进行了仿真,振幅仿真结果与理论计算结果符合较好,且真空中品质因数Q大于25000.
微桥谐振器 幅频特性 有限元分析
于建旺 李跃进 李俊杰
西安电子科技大学微电子所,西安,710071
国内会议
北京
中文
581-585
2005-11-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
微桥谐振器 幅频特性 有限元分析
于建旺 李跃进 李俊杰
西安电子科技大学微电子所,西安,710071
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581-585
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