会议专题

热激励碳化硅微桥谐振器幅频特性研究

本文建立了真空中热激励碳化硅谐振器谐振器简化模型,并用解析的方法,考虑内应力的影响,推导了出了器件的幅频公式,得出了利用有限元软件ANSYS9.0对碳化硅微桥谐振器进行了仿真,振幅仿真结果与理论计算结果符合较好,且真空中品质因数Q大于25000.

微桥谐振器 幅频特性 有限元分析

于建旺 李跃进 李俊杰

西安电子科技大学微电子所,西安,710071

国内会议

第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会

北京

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581-585

2005-11-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)