基于MEMS技术的单片集成压力-加速度微传感器的研究

摘要：

本文提出了一种用于TPMS(胎压监测系统)的单片集成压力-加速度微传感器.介绍了微传感器的主要结构和工作原理,并对微传感器研制过程中的关键技术进行了详细地分析和探讨.

关键词： 轮胎压力 微传感器 单片集成

作者: 肖鹏 汪家友 杨银堂 娄利飞 刘毅

作者单位: 西安电子科技大学微电子学院,西安,710071

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 576-580

在线出版日期: 2005-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）