会议专题

定量沉积在真空器件中的应用

本文用定量沉积的方法在陶瓷表面沉积了方阻为0.1Ω/square的电阻膜,测量了镀膜厚度对方阻的影响.本文还介绍了定量沉积与其它方法的比较.

定量沉积 电阻膜 真空器件

彭毅 姜霞

汉光电工厂,湖北,孝感,432000

国内会议

中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会

昆明

中文

563-565

2005-09-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)