低压条形栅功率场效应晶体管的研制

摘要：

本文介绍了一种新型低压平面结构的功率场效应晶体管--条形栅VDMOS的研制.通过与传统的元胞型结构比较,分析了条形栅具有导通电阻小、开关速度快以及工作稳定性高等特点.同时对条形栅VDMOS的工艺做了介绍,其工艺过程简单,实用性强.

关键词： 场效应管 多晶硅栅 条形栅

作者: 王立新 廖太仪 陆江

作者单位: 中国科学院微电子研究所,100029

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 379-381

在线出版日期: 2005-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）