扫描电子显微成像模拟的并行实现

摘要：

利用MonteCarlo计算方法可以模拟电子束与样品的相互作用过程,从而了解扫描电子显微学中信号的产生机制.采用实体结构几何法模型来产生复杂试样的几何构型,利用光线追踪算法求得散射事件间的步长抽样修正.电子散射的物理模型则采用Mott散射截面描述电子与原子间的弹性相互作用,以及用介电函数描述电子与固体的非弹性相互作用,同时还考虑到了二次电子的级联产生过程.利用并行计算技术对模拟算法进行了并行化,模拟得到出了若干复杂几何体的二次电子像和背散射电子像.

关键词： Monte Carlo方法 并行计算 电子散射 扫描电镜成像 实体结构几何法

作者: 李会民 丁泽军

作者单位: 中国科学技术大学,中国科大-中国惠普高性能运算联合实验室,合肥,230026 中国科学技术大学,物理系固体微结构研究室,合肥,230026

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005高性能计算应用大会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 213-218

在线出版日期: 2005-10-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）