CPD阴极的研究

摘要：

本文对可控孔阴极的制造工艺进行了摸索,着重描述了用光刻法和聚焦离子束法加工CPD阴极,并给出了用聚焦离子束法加工的CPD阴极的伏安特性和欠热特性.

关键词： 可控孔阴极 发射均匀性 光刻 聚焦离子束

作者: 张珂 李季 李兴辉

作者单位: 中电科技集团第十二研究所,阴极电子学研究室,北京,100016

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 284-288

在线出版日期: 2005-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）