表面波等离子体特性的研究

摘要：

本文研究了从大面积真空容器上部直接照射方式产生的表面波等离子体的特性。给出了这种方式等离子体的着火条件，密度特性和密度分布。这种表面波等离子体已成功应用于离子加工机，作为离子引出源，获得了高密度离子束。

关键词： 表面波等离子体 着火条件 密度特性 密度分布

作者: 孙冰 刘剑丽 浅香敏夫

作者单位: 大连海事大学环境学院 大连海事大学经管学院 株式会社IDX,励木县,568-113

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国微波能应用学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 256-259

在线出版日期: 2005-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）