微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的制备

摘要：

在爆炸法得到的钠米金刚石微粉上,用无水酒精与丙酮溶液混合,得到需要电镀的电镀溶液然后在铜片上电镀处理后利用微波等离子体化学气相沉积制备金刚石薄膜.SEM对结构进行分析.并研究了它的场电子发射特性,得到较好场发射特性.

关键词： 微波化学气相沉积 金刚石薄膜 场电子发射 电镀 微波等离子体

作者: 田浩希 赵约瑟

作者单位: 电子科技大学物理电子学院,成都610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国微波能应用学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 236-239

在线出版日期: 2005-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）