2.45GHz平面微带螺旋电感微波等离子体源的建模研究

摘要：

本文利用平面微带螺旋电感的等效电路对2.45GHz频率进行建模分析,并在此基础上对其模型进行优化设计,以期得到更高的品质因数Q值,这种电感主要用作低压小功率微波等离子体源.研究表明,影响电感品质因数的参数有电感线圈的匝数N,微带线的宽度,匝间距等,本文对这些参数取不同的数值进行比较,获得较理想的高Q值的电感线圈尺寸.

关键词： 平面微带螺旋电感 品质因数Q 微波等离子体

作者: 曹焕丽 廖斌 朱守正

作者单位: 华东师范大学信息学院电子系,上海,200062

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国微波能应用学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 222-225

在线出版日期: 2005-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）