HgCdTe液相外延薄膜组分分布和内波的产生
文通过用红外透射谱和均匀腐蚀的方法测量了同一HgCdTe外延薄膜在不同层厚时的红外透射光谱,显示样品在靠近衬底的两微米范围内存在一个急剧变化的梯度区,这表明在外延生长后期的相变层中存在分层流,而正是分层流中的内波造成了外延层晶体表面的条纹.数学模型和量级估计很好地支持了此内波成因说,并且通过数据计算和实验结果指出,将生长晶体控制在一定厚度内就不容易产生条纹.
半导体薄膜 液相外延 薄膜条纹
黄为民 王亚敏 魏彦锋
上海理工大学,上海,200093 中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083
国内会议
南京
中文
1438-1443
2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）