微型柔性红外传感器的制作研究

摘要：

利用微机电系统(MEMS)技术,制作了一种128×1元柔性红外传感器阵列.首先在硅片衬底上生长一层PDMS柔性材料,然后再在柔性材料上利用MEMS技术制作红外传感器阵列.采用六轴微小器件试验台进行扭弯试验.在传感器的两端施加一定的力使其弯曲,然后测传感器不同单元的电阻.试验结果表明:所制作的柔性传感器阵列能经受多次弯扭,电阻值基本没有变化,柔性传感器在经过弯扭3300次后,传感器本身的柔性材料并没有断.

关键词： 机电一体化 微机电系统 柔性材料 红外传感器 制作工艺

作者: 王明 陈四海 潘峰 汪殿明 黄光

作者单位: 华中科技大学,光电子科学与工程学院,湖北,武汉,430074;武汉国家光电实验室,湖北,武汉,430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇六年全国光电技术学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 519-522

在线出版日期: 2006-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）