3英寸双面YBCO高温超导外延薄膜研究

摘要：

本文采用倒筒直流溅射方法(ICS)结合基片变速双轴旋转方式原位生长Φ3英寸双面YBCO高温超导外延薄膜.膜厚分布最大偏差小于10﹪,薄膜样品的中心与边缘部分的Tc0均达到90K,ΔTc≤0.3K,FWHM(005)≈0.2°,Rs(10GHz,77K)≈0.8mΩ,Jc值分布在2.2～3.1MA*cm-2之间,表明样品均匀性良好.

关键词： 高温超导薄膜 均匀性 膜厚分布 倒筒直流溅射法

作者: 陈家俊 张其劭 陶伯万 邓新武 刘兴钊 李德红 张鹰 何世明 李言荣 羊恺

作者单位: 电子科技大学,成都,610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国超导学术研讨会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 16-19

在线出版日期: 2003-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）