CZ法生长的硅单晶体中热应力分析

摘要：

用有限元法对Czochralski法(CZ法)生长的硅单晶中的热应力进行求解.假设晶体为轴对称的各向同性线弹性体.得到了在添加子结构--气体导流筒后,熔体流动在单纯浮力以及在浮力与热毛细力共同作用下,气体流率对生长晶体中的热应力分布的影响,与无子结构比较表明,晶体中的热应力最大值增加了,同时发现,子结构的热物性对热应力有较大的影响.

关键词： CZ法 硅单晶体 热应力

作者: 刘春梅 李明伟 曾丹苓

作者单位: 河南科技大学车辆与动力工程学院,洛阳,471003 重庆大学,动力工程学院,重庆,400044

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006中国工程热物理学会传热传质学学术会议

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 1180-1184

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）