PTFE膜在ISFET中的应用研究

摘要：

本文介绍了在不同条件下,以磁控溅射法生长PTFE薄膜的工艺过程,并测试、分析了膜的结构成分及表面形貌.将PTFE用于REFET中,作为离子钝化膜,在标准pH液的测量中,获得了3.4mV/pH的低灵敏值.

关键词： 聚四氟乙烯 钝化膜 离子敏场效应管 传感器 PTFE膜

作者: 汪祖民 韩泾鸿 孙红光 杨海钢 夏善红 陈绍凤

作者单位: 中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 48-51

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）