液相外延YBCO膜中氧扩散

摘要：

液相外延(LPE)的沉积速率是通常气(汽)沉积速率的100－100倍，它是在近于热力学平衡条件下生长外延膜，LPE膜有较好的晶体完整性，LPE是薄膜和厚膜的重要制备方法.LPE原则上是很适合用于第二代超导导体(YBCO涂层导体)所需的厚膜的快速和连续制备，初步研究显示了其在涂层导体制备应用上的潜力.本文采用原位等温电阻弛豫法探索了液相外延YBCO膜中氧扩散行为,得到氧化学扩散激活能E～1.1eV.

关键词： 液相外延 YBCO膜 氧扩散 超导导体 涂层导体

作者: 张宏 杜柯 姚忻 曾新华

作者单位: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050 上海交通大学物理系,上海,200030

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国超导学术研讨会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 497-500

在线出版日期: 2003-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）