SiNx薄膜的制备、结构及其光学性能表征

摘要：

本文使用电子回旋共振等离子体化学气相沉积方法制备了非化学计量比的SiNx薄膜,使用红外光谱、拉曼光谱和紫外可见光谱等对SiNx薄膜的结构和光学性质进行了研究.结果表明,SiNx薄膜中随着Si:N原子比的增加,Si-N的红外伸缩振动从890cm-1波数向820cm-1波数移动,拉曼光谱中出现了较明显的波数为480cm-1的非晶硅的TO声子峰;实验发现,使用NH3作为前驱体所制备的膜中较N2具有更低的H含量;SiNx薄膜的光学带隙和折射率可以通过前驱体的流量比进行调制,实验结果表明光学带隙随着Si:N比率的增加而明显降低,从5.0eV变化到2.5eV,而折射率则从19变化到2.2左右。

关键词： 电子回旋共振等离子体 化学气相沉积 SiNx薄膜 红外光谱 光学性能 拉曼光谱

作者: 辛煜 鲁涛 黄壮雄 濮林 施毅 宁兆元 郑有炓

作者单位: 苏州大学物理科学与技术学院,江苏省薄膜材料省重点实验室,215006;南京大学物理系,南京,210093 苏州大学物理科学与技术学院,江苏省薄膜材料省重点实验室,215006 南京大学物理系,南京,210093

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会第六届全国会员代表大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 36-38,42

在线出版日期: 2004-11-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）