薄膜材料的微波复介电常数测量

摘要：

为了精确测量厚度在以1μm以下薄膜材料的微波复介电常数,提出一种基于金属谐振腔微扰理论的测量方法和装置,对该方法进行了理论分析和实验验证,实验样品采用081μm厚度的MC-91(BaO-(SmNdLa)2O3-B2O3-TiO2)介质陶瓷薄膜,测试频率在2.4GHz左右,对测量结果进行了误差分析,其相对误差＜7﹪,其中3﹪的误差是由薄膜厚度的测量误差引起的。

关键词： 薄膜材料 微波测量 复介电常数测量 微扰理论 金属谐振腔

作者: 金浩 王德苗 董树荣

作者单位: 浙江大学信息学院信电系,杭州,310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会第六届全国会员代表大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 27-31

在线出版日期: 2004-11-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）