微电子器件失效激活能的快速确定及其研究

摘要：

本文提出了一种新的微电子器件加速寿命试验方法--温度斜坡法,建立了确定失效激活能的新模型,并通过试验验证了模型的正确性.在数据分析和处理的基础上,对器件退化过程中的每种失效机理进行研究,获得器件不同失效模式下相应的失效激活能,并提出了失效激活能矢量概念.

关键词： 加速寿命试验 温度斜坡法 失效激活能 微电子器件 电子信息技术

作者: 廖京宁 李杰 郭春生 程尧海 李志国

作者单位: 北京工业大学电子信息与控制工程学院可靠性研究室,北京,100022

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第十一届青年学术年会

会议地点: 济南

会议语种:中文

页码: 1032-1035

在线出版日期: 2005-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）