波长可调谐垂直腔面发射激光器可动顶DBR的研究与制备

摘要：

本文研究、设计了应用在波长可调谐垂直腔面发射激光器(VCSEL)上的MEMS悬臂梁结构,考虑到悬臂梁自身应力的影响,通过PECVD高低频交替生长的办法改变Si3N4薄膜应力,使多层SiO2和Si3N4薄膜之间的应力减小,实现了低应力的可动悬臂梁式顶DBR结构.我们采用光学传输矩阵法对DBR结构的多层介质膜反射谱进行了模拟计算,并与实际测量的结果相对比,得到了具有调谐能力的悬臂梁式可动顶DBR结构,并为后期制备波长可调谐垂直腔面发射激光器奠定了基础.

关键词： VCSEL 悬臂梁 调谐 激光器

作者: 关宝璐 郭霞 王红航 渠红伟 达小丽 董立敏 陈敏 沈光地

作者单位: 北京工业大学电子信息与工程控制学院,北京市光电子实验室,北京,100022

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第十一届青年学术年会

会议地点: 济南

会议语种:中文

页码: 936-939

在线出版日期: 2005-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）