硅单晶炉用环形永磁磁体设计

摘要：

本文设计并研制出了钕铁硼三环永磁磁体结构并应用于3英寸直拉单晶炉，克服了电磁线圈和超导磁体拉晶的缺点。使得磁力线在径向有辐射式合理分布，有利于单晶中氧、碳含量的控制，且磁场强度连续可调。实际测量表明,设计结果较好地满足了单晶生长要求。

关键词： 硅单晶炉 环形永磁磁体 有限元法 单晶生长 钕铁硼

作者: 刘福贵 杨庆新 徐岳生

作者单位: 河北工业大学电磁场与电器可靠性省部共建重点实验室,天津,300130

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005年中国固体科学与新材料学术研讨会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 82-84

在线出版日期: 2005-03-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）