传感器性能与微结构的关系

摘要：

本文探讨了传感器微结构和性能间的关系,为控制微结构所采用的措施与工艺,以及工艺对性能的影响.新型传感器灵敏度高,稳定性好,可靠性高寿命较长,为金属氧化物半导体式气敏元件实用化大规模生产创造了条件.

关键词： 金属氧化物 气体传感器 传感器 微结构 灵敏度

作者: 蔡可芬 毛慧

作者单位: 西安电子科技大学,西安市华特林敏感技术研究所,西安,710071 西安电子科技大学电子工程学院,西安,710071

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 106-108

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）