会议专题

紫外吸收增强的硅基ZnO薄膜的制备及研究

本文研究了利用磁控溅射技术制备高质量的ZnO薄膜,并通过退火等处理方式,来提高材料的各项性能.并同时应用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)及X射线光电子能谱等技术来表征所制备的材料的各项性能。

ZnO薄膜 磁控溅射 退火

李静 吴孙桃

厦门大学萨本栋微机电研究中心,厦门,361005;厦门大学物理与机电工程学院,厦门,361005 厦门大学萨本栋微机电研究中心,厦门,361005

国内会议

第九届全国敏感元件与传感器学术会议

西安

中文

100-102

2005-08-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)