紫外吸收增强的硅基ZnO薄膜的制备及研究

摘要：

本文研究了利用磁控溅射技术制备高质量的ZnO薄膜,并通过退火等处理方式,来提高材料的各项性能.并同时应用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)及X射线光电子能谱等技术来表征所制备的材料的各项性能。

关键词： ZnO薄膜 磁控溅射 退火

作者: 李静 吴孙桃

作者单位: 厦门大学萨本栋微机电研究中心,厦门,361005;厦门大学物理与机电工程学院,厦门,361005 厦门大学萨本栋微机电研究中心,厦门,361005

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 100-102

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）