复合掺杂对钛酸锶厚膜氧敏性能及电阻温度系数的影响
本文研究用固相合成法制备钛酸锶厚膜,该厚膜是制备用于工作在贫燃区、对汽车尾气监控的氧敏传感器的潜在材料.通过一系列正交实验,在钛酸锶中掺杂不同种类、不同含量的离子,形成以P型掺杂为主的复合掺杂,并测试了在不同氧分压(0Pa~105Pa)和温度下(600℃~800℃)厚膜的电阻.实验发现,不同的离子在取代钛位或锶位后形成的复合掺杂比单一离子的掺杂具有低的电阻、好的阻温特性和较高的灵敏度.文章从缺陷化学的角度对该现象进行了讨论.
钛酸锶厚膜 复合掺杂 灵敏度 电阻温度系数 氧敏性能 缺陷化学 传感器
刘俊杰 曹全喜
西安电子科技大学技术物理学院
国内会议
西安
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74-77
2005-08-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)