利用钼酸铵溶液对TiO2薄膜表面进行修饰以改善其氧敏特性的研究

摘要：

本文介绍了用直流反应磁控溅射法在陶瓷基片上制备出TiO2薄膜.并进行1100℃,2h的退火处理,使其完全转换成金红石结构.配置钼酸铵溶液,利用浸渍法处理TiO2薄膜若干时间.取出后,在红外烘烤箱中焙干.最后在马弗炉中500℃1h退火处理.用气敏测试箱对制备出的TiO2薄膜的氧敏特性进行试验,发现对氧气有更好的敏感特性,比未经此项工艺处理的TiO2薄膜的最佳工作温度降低100℃,为300℃左右.

关键词： TiO2薄膜 钼酸铵 三氧化钼 最佳工作温度 氧敏特性

作者: 程东升 孙以材 潘国锋 张毅

作者单位: 河北工业大学信息工程学院,天津,300130

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 59-62

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）