微机械陀螺动态特性研究

摘要：

本文设计了一种新型的微机械陀螺.通过模态分析和优化设计,使得驱动模态固有频率和检测模态固有频率之差落在所要求的频差范围内,获得了比以前微机械陀螺更高的Q值.通过谐振响应分析发现,在陀螺上任意对称两点的X方向上位移相等,相位相同,而Y方向上位移相等,方向相反,这样就没有存在机械耦合的可能.

关键词： 微机械陀螺 模态分析 谐响应分析 有限元法

作者: 吴昌聚 马慧莲 金仲和 丁纯 王跃林

作者单位: 浙江大学信息与电子工程系,杭州,310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 117-119

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）