一种探针式微机械六维力传感器的设计与工艺

摘要：

本文提出了一种探针式微机械六维力传感器的结构设计和加工工艺.该传感器的敏感结构由两个具有”T”形结构的单晶硅梁通过背靠背粘接方式组装而成,在每个”T”形硅梁的正面都有三组连接成全桥的压敏电阻,分别用于检测力和力矩的三个分量.传感器敏感结构的尺寸为3.5mm×2mm×0.7mm,它采用微电子技术及微机械加工技术制作.该传感器可利用微操作系统或微小型机器人为载体,在常规多维力传感器难以介入的一些微小区域内进行多维力学量信号的测量.

关键词： 六维力 探针 传感器 微机械加工

作者: 孔德义 胡圣军 梅涛 单建华 孙磊 张东风 张正勇 倪林

作者单位: 中国科学院合肥智能机械研究所,传感技术国家重点实验室,合肥,230031

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 113-116

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）