光电子封装中的一种新型激光焊接吸收膜设计

摘要：

设计了一种吸收膜,用于对SiO2,Si和LiNbO3等材料进行激光焊接.设计这种”金属-介质-金属”的三层吸收薄膜是为了进一步减少夹在透明母料之间的焊料表面对Nd:YAG激光束的反射.该设计使激光能量在实验中的实际吸收率超过了99﹪.这种吸收膜与焊料层的结合结构使激光能够更有效地转化为热能,并由此减少了激光穿透母料的能量,这样也就减少了因为激光的透射而导致母料损害的可能性,使激光能量得到更有效的使用.同时,焊接成品的力学性能也得到了有效提高.

关键词： 吸收薄膜 激光焊接 光波导 光电子封装

作者: 江绍基 李伟多 金涛 汪河洲

作者单位: 中山大学光电子技术与材料国家重点实验室实验室,广州,510275

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005年全国光电技术学术交流会暨第十七届全国红外科学技术交流会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 326-331

在线出版日期: 2005-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）