一种复合镀膜技术与大型装备

摘要：

一种由计算机全自动组态控制可实现离子清洁、蒸发镀铝、离子轰击聚合、蒸发镀氧化硅(SiO)、蒸发镀氟化镁(MgF2)等工艺的大型工业真空设备,主要用于汽车灯具反光膜镀制。

关键词： 汽车灯具 真空镀膜 反光镀膜设备 组态控制 离子清洁 离子轰击聚合

作者: 范多旺 马国欣

作者单位: 兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室,兰州,730070

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005年全国光学技术及其应用研讨会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 100-104

在线出版日期: 2005-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）