光学相移技术

摘要：

本文简要综述了相移技术的原理及应用.介绍了相移技术在光刻技术的应用.叙述了两种相移干涉仪的结构及应用;在数字全息技术中消除零级项,提高全息像的空间频率;相移技术用于频闪测量进行了微机器(MEMS)动态测量.

关键词： 光学相移 干涉仪 光刻 全息

作者: 张以谟 张红霞 贾大功 井文才

作者单位: 天津大学精密仪器与光电信息工程学院,天津,300072

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005年全国光电技术学术交流会暨第十七届全国红外科学技术交流会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 203-222

在线出版日期: 2005-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）