GaN基紫外探测器及其研究进展

摘要：

近期宽禁带半导体材料的研究和突破带动了各种器件的发展和应用;GaN基紫外探测器具有通过调整材料的配比可以调节器件响应的截止波长的优点,可以制备日盲型紫外探测器,得到了人们的极大关注.首先,简单介绍了紫外波段光电探测的基本特点,包括各波段特点、大气吸收等,并介绍了紫外探测的部分应用.然后对GaN基宽禁带紫外探测器材料体系的研究进展进行了回顾,重点介绍了P型材料的制备、金属半导体接触、材料的蚀刻等方面;最后,对国内外近期的紫外探测器特别是紫外焦平面器件的研究进展作了一些介绍.

关键词： 紫外探测器 氮化镓 铝镓氮 紫外焦平面器件

作者: 李向阳 许金通 汤英文 李雪 张燕 龚海梅 赵德刚 杨辉

作者单位: 传感技术国家重点实验室,中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083 中国科学院半导体研究所,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005年全国光电技术学术交流会暨第十七届全国红外科学技术交流会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 133-138

在线出版日期: 2005-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）