红外焦平面杜瓦排气残余气体分析实验研究

摘要：

本文对红外焦平面杜瓦排气残余气体进行了分析实验。文章介绍了实验的原理、装置、方法、数据和干扰因素,对影响杜瓦真空度的主要气体成分进行了初步研究,提出了改进杜瓦排气工艺的可能方向,对工艺处理具有实际意义。

关键词： 红外探测 真空技术 杜瓦排气

作者: 葛树萍 朱颖峰

作者单位: 昆明物理研究所,昆明,650223;云南大学物理系,昆明,650091 昆明物理研究所,昆明,650223

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国低温与制冷工程大会

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 167-173

在线出版日期: 2005-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）