光探针技术在光电器件检测中的应用

摘要：

文中介绍了用光探针技术探测微透镜聚焦光斑和光学传递函数的原理和结果.对测量结果进行了分析.讨论了在光电器件探测中的应用。

关键词： 光探针 光电器件检测 微透镜聚焦光斑 光学传递函数

作者: 王克逸

作者单位: 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,合肥,230026

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005年全国光学技术及其应用研讨会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 52-55

在线出版日期: 2005-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）