极紫外与软X射线多层膜技术

摘要：

首先介绍了极紫外与软x射线多层膜光学技术的研究意义和主要进展.然后,介绍了作者在软X射线多层膜分束镜和X射线超反射镜方面所做的研究,及相应的实验结果。

关键词： 极紫外 软x射线多层膜 溅射镀膜 X射线超反射镜 X射线光学系统 分辨率

作者: 王占山

作者单位: 同济大学精密光学工程技术研究所,上海,200092

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005年全国光学技术及其应用研讨会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 31-34

在线出版日期: 2005-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）