大口镜主镜柔性支撑设计

摘要：

柔性支承有结构紧凑,无摩擦,无间隙,以及高分辨率等特点,在纳米级机床等高精度、高带宽仪器中起着决定性的作用.以往大口径主镜轴向支撑一般采用球副,但这种结构有其自身缺点,本文用柔性铰链代替以往的半运动副作为主镜的轴向支撑,分析了柔性支撑与半运动副支撑结构间的差异和优缺点.

关键词： 半运动副主镜支撑 主镜柔性支承结构 柔性铰链

作者: 张程

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国激光科学技术青年学术交流会

会议地点: 福州

会议语种:中文

页码: 89-92

在线出版日期: 2005-11-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）